超高性能全自动静电放电（ESD）测试系统

型号：HED-G5000

品牌：HANWA

分类：静电ESD/CDM/TLP测试仪

简述：这是一款全自动静电放电（ESD）测试系统，专为超高引脚数芯片和先进材料的ESD特性精密测试而设计。创新的单一放电回路设计大幅降低寄生效应影响，确保数据高稳定性，满足严苛的研发与质量控制需求。系统完全符合国际标准（JEDEC、ESDA、AEC-Q100、JEITA），适用于半导体行业、高校与研究机构的高端应用。

HANWA

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核心产品特点

● 超高引脚数测试能力

最大支持2048个引脚，高效完成复杂器件测试。

● 单一放电回路设计

无继电器矩阵结构，采用全新机械式接地设计。

极大降低寄生电感与电容，确保各管脚测试数据高度一致。

● 多模型及闩锁测试兼容

同时支持HBM（人体模型）、MM（机器模型）及闩锁（Latch-up）测试。

提供向量功能，满足精密的功能性验证需求。

● 高速向量功能

测试频率高达10 MHz，电压范围0.5～5 V，深度达256k点。

● 友好且高效的自动化操作

测试流程自动化程度高，显著缩短整体测试时间。

简洁的Windows界面，操作直观可靠。


应用领域

· 大规模集成电路（IC）ESD性能精确评估

· 高密度封装与先进封装技术可靠性测试

· 纳米材料与半导体器件ESD特性研究

· 芯片与器件闩锁效应深入分析与验证

· ESD失效模式研究与失效定位诊断

· 严苛环境与汽车电子芯片ESD合规性验证


典型使用案例推荐

· 半导体企业：高端芯片ESD可靠性认证与批量验证

· 大学实验室：超精细材料ESD性能表征与基础研究

· 研究机构：复杂封装与器件闩锁效应深入研究

参数/功能

性能规格

测试模型

HBM、MM、Latch-up

最大引脚数

2048 Pin（可定制）

放电电压范围与精度

HBM: ±10 V，步进5 V

闩锁测试规格

±100 V/1 A、±35 V/1 A

向量功能

频率最高10 MHz，电压0.5-5 V，深度256k点

DUT直流偏置电源

最多8路，±100 V/1 A、±35 V/1 A可选

放电回路设计

单一回路，无继电器矩阵，超低寄生电容电感

测试一致性

单回路设计确保各管脚数据高度一致

操作系统

Windows图形化操作

供电要求

AC 100-240 V / 20 A

尺寸（宽×深×高）

约200 cm × 105 cm × 150 cm

设备重量

约500 kg

文档下载：

E_G5000.pdf