全自动静电放电（ESD）测试系统

型号：HED-N5000

品牌：HANWA

分类：静电ESD/CDM/TLP测试仪

简述：这是一款高性能的全自动ESD（静电放电）测试设备，适用于半导体芯片、先进材料与器件的静电耐受力和闩锁效应研究。系统完全符合国际标准（JEDEC、ESDA、AEC-Q100、JEITA），广泛服务于半导体厂商、材料研发机构及高校科研用户。

HANWA

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产品特点

· 全自动化测试流程

一键启动测试，自动完成管脚连接、放电施加、漏电流测量及报告生成。

· 多器件并行测试

最高支持同时8个器件、总共1024引脚，显著提高测试效率。

· 多模型、多功能集成

集成HBM（人体模型）、MM（机器模型）和闩锁（Latch-up）测试功能，一台设备完成多种可靠性验证。

· 高度可编程控制

用户可灵活定义放电电压、脉冲次数及间隔，并进行详细的I/V特性测量。

· 精确的数据与稳定性

机械与电路设计精密，确保数据稳定可靠，高度重复性。

· 友好的人机界面

图形化操作界面，实时波形与数据展示，测试报告一键导出。


应用领域

· 半导体芯片ESD可靠性测试与设计优化

· 芯片封装可靠性验证与批量测试

· 新型材料电气性能与ESD特性研究

· 静电击穿与耐受力建模仿真研究

· ESD引起的器件失效分析与诊断

· 电子系统EMC设计与抗扰度研究


典型测试应用案例

· 半导体企业：芯片ESD耐受性分级测试与批量筛选

· 高校/科研机构：先进材料静电击穿机制研究

· 材料研究实验室：新型静电防护材料验证

参数/功能

性能规格

支持模型

HBM、MM、Latch-up

最大管脚数

1024 Pin

放电电压范围

HBM: ±10 V 至 ±8000 V

电压步进与精度

步进5 V, 精度±1% ±10 V

脉冲次数与间隔

1~99次, 最小间隔0.1 s

内置偏置电源

±35 V/1 A（标配）±100 V或30 V/5 A（选配）

闩锁测试方式

电源过压法、恒流注入法

闩锁测试电流范围

±1 A, 脉宽0.1~100 ms

电流测量精度

纳安级（±10 nA），约满量程0.2%

I-V扫描与波形采样

10 MHz采样, 最多4000点/波形

控制系统

Windows图形化操作界面

报告输出格式

Excel 等

设备尺寸（宽×深×高）

约1600×900×1500 mm

文档下载：

E_N5000.pdf