紧凑型全自动静电放电（ESD）测试系统

型号：HED-S5000R

品牌：HANWA

分类：静电ESD/CDM/TLP测试仪

简述：这是一款紧凑型全自动ESD测试设备，专为中小型半导体器件和材料样品的精确ESD特性评估而设计。系统具备超低寄生效应的机械结构，数据高度稳定一致，广泛符合JEDEC、ESDA、AEC和JEITA国际标准，尤其适合高校、研究机构及材料研发单位使用。

HANWA

相关产品

核心产品特点

超低寄生电感与电容设计

· 独特机械式接地技术，单一放电回路，数据更稳定可靠。

小型高效

· 紧凑式桌面型设计，占地空间小，适合实验室或生产线部署。

兼容多种测试模型

· 支持HBM人体模型和MM机器模型ESD测试，兼容闩锁（Latch-up）测试。

灵活自动化

· 简便直观的Windows系统界面，流程简单快速，缩短整体测试周期。

国际标准兼容

· 符合ESDA/JEDEC JS-001(AEC)、JEITA等国际ESD测试标准。


应用领域

· 半导体芯片ESD可靠性测试与设计优化

· 芯片封装可靠性验证与批量测试

· 新型材料电气性能与ESD特性研究

· 静电击穿与耐受力建模仿真研究

· ESD引起的器件失效分析与诊断

· 电子系统EMC设计与抗扰度研究


测试界面与功能示例

· 机械式GND设计：确保数据精准

· 图形化测试界面：直观易操作

· 实时波形显示：快速判断测试结果，实时数据可视化


国际标准合规性

· JEDEC标准

JESD22-A114（HBM人体模型）

JESD22-A115（MM机器模型）

· ESDA/AEC标准

ESDA/JEDEC JS-001（汽车电子AEC兼容）

· JEITA日本工业标准

JEITA相关ESD测试标准

参数/功能

性能规格

测试引脚数

最多256个Pin

放电电压范围

HBM: ±10 V ~ ±8000V；MM: ±10 V ~ ±4000 V

电压步进

最小步进 5 V

放电次数

单次1~99次，最多65535次

脉冲间隔

0.1~9.9秒可调

充电电压精度

±1%±10 V

漏电流测量电压(Vf)

±40 V（步进0.1 V）

漏电流测量精度

±(1%+1/500FS+10 nA)

外形尺寸（宽×深×高）

545×350×340 mm

设备重量

约25 kg

供电需求

AC 100-240 V / 5 A

操作控制

Windows系统，可独立或连接PC使用

文档下载：

E_S5000_1.pdf